近日,由半導體投資聯盟、愛集微共同舉辦的“2024半導體投資年會暨IC風云榜頒獎典禮在北京隆重舉行。廈門宇電自動化自動科技有限公司(簡稱:宇電)在超100家企業中脫穎而出斬獲“年度技術突破獎”。
“年度技術突破獎”旨在表彰2023年度前沿技術領域原始性重大技術創新,未來或產生重大經濟社會效益,對于推動我國集成電路產業鏈自主安全可控發展發揮重大作用的企業。
在30多年的發展過程中技術創新是宇電的“生命線”,持續不斷地創新是宇電制勝市場的關鍵。推出AI人工智能調節算法、儀表模塊化和平臺化結構等多項創新技術;主持并參與起草了GB/T 20819.1-2015調節器、物聯網變送器、嵌入式控制器等幾十項國家標準。
半導體作為制造業上的明珠,半導體產業鏈上下游企業都在積極推動半導體設備國產化。面對巨大的市場機遇,宇電憑借過硬的研發能力和創新精神,推出半導體設備專用串級溫控器。
半導體設備專用串級溫控器
由于半導體制造涉及的工藝流程復雜。如氧化擴散、刻蝕、薄膜沉積等環節都需要精密的溫度控制,微小的溫度變量會導致工藝流程的失敗。超高的技術門檻使得以往該領域的溫控產品被進口品牌壟斷。
宇電的半導體設備專用串級溫控器,AI人工智能調節技術可自動識別不同場景,面對生產過程中的大滯后、額外擾動等復雜控制對象,可模擬專家思路調整控制器的工作狀態,讓串級控制儀表的調試工作和普通單回路PID儀表,在算法上超越進口溫控器,成為該領域國產溫控器的破局者。
目前,宇電的半導體設備專用溫控器已經規模應用在低壓硼/磷擴散、高溫氧化、退火、PECVD鍍膜、LPCVD鍍膜、ALD鍍膜等裝備和工藝中,幫助客戶提升生產效率及產品良率,客戶包括光伏半導體頭部設備企業在內的絕大多數光伏設備廠商,并與多家半導體微電子設備企業在合作中。
針對要求更為苛刻的微電子、集成電路領域,宇電推出AI-9高精度智能溫控器、AI-8848高精度多回路溫控器等產品。
AI-9高精度溫控器測量精度,測量精度0.05級,分辨率可達到0.001℃,支持4線制PT100輸入。這款溫控器集超高精度、優秀性能、高穩定性等配置于一身,可應用于滿足復雜制造的半導體行業。
AI-9高精度溫控器
AI-8848高精度多回路溫控器是具有單路儀表性能和功能設計思想的多路儀表,單臺儀表內集成多個24BIT高性能A/D轉換器,既能滿足多路集中控制,又具有單路儀表的優良性能。并可以外接多種輸入和輸出模塊進行功能擴展,最多可實現96路測量與控制功能。
AI-8848多回路高精度溫控器
展望未來,宇電將持續聚焦客戶需求,堅持以科技創新為基礎,將研發作為企業發展創新驅動力,為客戶提供優秀的溫控產品,提供解決方案。